金相顯微鏡與日立掃描電鏡的區(qū)別是什么
更新時(shí)間：2023-03-28 瀏覽次數(shù)：1043
金相顯微鏡是用入射照明來(lái)觀(guān)察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡，它是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)結(jié)合在一起而開(kāi)發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品，可以在計(jì)算機(jī)上很方便地觀(guān)察金相圖像，從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析，評(píng)級(jí)等以及對(duì)圖片進(jìn)行輸出、打印。
金相顯微鏡是專(zhuān)門(mén)用于觀(guān)察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡。這些不透明物體無(wú)法在普通的透射光顯微鏡中觀(guān)察，因此金相和普通顯微鏡的主要差別在于前者以反射光，而后者以透射光照明。在金相顯微鏡中照明光束從物鏡方向射到被觀(guān)察物體表面，被物面反射后再返回物鏡成像。這種反射照明方式也廣泛用于集成電路硅片的檢測(cè)工作。
金相顯微鏡和日立掃描電鏡存在很大的區(qū)別，主要有以下幾方面：
一、光源不同：金相顯微鏡采用可見(jiàn)光作為光源，日立掃描電鏡采用電子束作為光源成像。
二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像，日立掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號(hào)，再利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像信息。
三、分辨率：金相顯微鏡因?yàn)楣獾母缮媾c衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。日立掃描電鏡因?yàn)椴捎秒娮邮鳛楣庠?，其分辨率可達(dá)到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀(guān)察屬于微米級(jí)分析，日立掃描電鏡的組織觀(guān)測(cè)屬于納米級(jí)分析。
四、景深：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對(duì)樣品的表面光滑程度具有高要求，所以制樣過(guò)程相對(duì)比較復(fù)雜。日立掃描電鏡的景深則可達(dá)幾毫米。
日立掃描電鏡一種新型的電子光學(xué)儀器。它具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)。數(shù)十年來(lái)，日立掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。
日立掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀(guān)性貌觀(guān)察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀(guān)成像。日立掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是，①有較高的放大倍數(shù)，20-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào)；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀(guān)察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；③試樣制備簡(jiǎn)單。目前的日立掃描電鏡都配有X射線(xiàn)能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織性貌的觀(guān)察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。
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